Jaesung Engineering 提供半导體(tǐ)、化學(xué)、物(wù)理(lǐ)、材料和 MEMS 领域所需的解决方案和设备。 為(wèi)广泛领域的光刻技术提供制造和实验室设备提供了一个环境，可(kě)以在该环境中执行抗反射涂层、各种聚合物(wù)、光刻胶和导電(diàn)薄膜的各种完整应用(yòng)。

旋涂机 JS201

用(yòng)户友好的模拟可(kě)编程模型 JS201 在您的关键实验中提供准确性和可(kě)靠性。 JS201 旋涂系统使用(yòng)方便、结构紧凑、坚固耐用(yòng)，是一种台式类型，以具有(yǒu)竞争力的价格提供给需要高性能(néng)的客户。

    它是韩國(guó)研究机构、大學(xué)和企业最畅销的型号。

引脚精度

• 转速重复性：< 0.5 %

• 旋转速度分(fēn)辨率：< 0.5%

• 基板尺寸（<1 cm - 100 mm round / 3" x 3" square）코

可(kě)靠性

• 全不锈钢 304 结构

• 1 年保修（零件和人工）

• 向客户提供无限的应用(yòng)程序

程序和硬件：

• 数字转速显示和 2 个数字计时器

•       最大限度。晶圆：4"

• 每个程序 2 个步骤

• 1 秒(miǎo)的步进时间分(fēn)辨率

• 旋转速度 0 - 6,000 rpm（可(kě)选 10,000 RPM）

• 旋转速度加速：

• 0 - 10,000 rpm/秒(miǎo)卸载

• 0 - 6,000 rpm/sec，100 mm SI 晶圆

• 坚固的结构

• 安全性：真空吸盘联锁

• 实惠的价格

JS201-100 Spin Coater旋涂仪

JS201-100 台式系列小(xiǎo)型基材旋涂机专為(wèi)各种研发过程中的多(duō)功能(néng)性、易用(yòng)性和安全性而设计。 该旋涂机非常适合硅晶片、玻璃、大型光掩模、掩模版的涂层和显影等工艺。

● 坚固的结构

● 易于使用(yòng)

● 可(kě)重复的性能(néng)

● 灵活性

● 经济的台式系统

规格

可(kě)编程 2 步，2 种速度

数字 RPM 仪表和计时器 n

准确度 +- 0.5 % 在设定的 RPM

最高转速：6,000

加速度：3,000RPM/秒(miǎo)。

SUS304 主體(tǐ)和碗，易于清洁和耐化學(xué)性

排水口

碗的透明 PC 盖

最大100mm直径板

标准干式真空泵：100 升/分(fēn)钟，0.5 ATM

标准样品夹头

尺寸 300W x 370D x 275H 毫米

220VAC，60Hz，3安培

重量：20公斤

旋涂机 JS301

用(yòng)户友好的模拟可(kě)编程 JS301 模型為(wèi)客户的重要实验提供了准确性和可(kě)靠性。 JS301台式旋涂系统无故障、易于使用(yòng)、结构紧凑、坚固耐用(yòng)，以具有(yǒu)竞争力的价格提供给需要各种实验和高性能(néng)的客户。

引脚精度

旋转速度重复性：< 1 %

旋转速度分(fēn)辨率：< 1 %

基板尺寸（<1 cm - 300 mm round / 220 x 220 square） 涂布机型号 JS401 是 Jaesung Engineering 的基本产品。

可(kě)靠性

PP 和不锈钢 304 结构

1 年保修（零件和人工）

向客户提供无限的应用(yòng)程序

程序和硬件

数字转速显示和 3 个数字计时器

最大限度。晶圆：4" (JS301-100)、6" (JS301-150)、8" (JS301-200)

每个程序 3 个步骤

步进时间的 1 秒(miǎo)分(fēn)辨率

最大旋转速度 4 - 6,000 rpm

旋转速度加速度：

0 - 10,000 转/秒(miǎo)卸载

0 - 6,000 rpm/sec，100 mm SI 晶圆

坚固的结构

安全性：真空吸盘联锁

JS301-100 Spin Coater旋涂仪

100 毫米旋涂机

JS301-100 台式系列小(xiǎo)型基材旋涂机专為(wèi)各种研发过程中的多(duō)功能(néng)性、易用(yòng)性和安全性而设计。 该旋涂机非常适合硅晶片、玻璃、大型光掩模、掩模版的涂层和显影等工艺。

● 坚固的结构

● 易于使用(yòng)

● 可(kě)重复的性能(néng)

● 灵活性

● 经济的台式系统

规格

可(kě)编程 3 步，3 种速度

数字转速计和计时器

准确度 +- 1 % 在设定的 RPM

最高转速：6,000

加速度：3,000RPM/秒(miǎo)。

SUS304 主體(tǐ)和碗，易于清洁和耐化學(xué)性 排水口

碗的透明 PC 盖

最大 100 毫米直径和 90x90 毫米板

标准干式真空泵：100 升/分(fēn)钟，0.5 ATM

标准样品夹头

尺寸 350W x 450D x 275H mm

220VAC，60Hz，3安培

重量：20公斤

JS301-150 旋涂机

150 毫米旋涂机

JS301-150 台式系列小(xiǎo)型基材旋涂机专為(wèi)各种研发过程中的多(duō)功能(néng)性、易用(yòng)性和安全性而设计。 该旋涂机非常适合硅晶片、玻璃、大型光掩模、掩模版的涂层和显影等工艺。

● 坚固的结构

● 易于使用(yòng)

● 可(kě)重复的性能(néng)

● 灵活性

● 经济的台式系统

规格

可(kě)编程 3 步，3 种速度

数字转速计和计时器

准确度 +- 1 % 在设定的 RPM

最高转速：6,000

加速度：3,000RPM/秒(miǎo)。

SUS304 主體(tǐ)和碗，易于清洁和耐化學(xué)性

排水口

碗的透明 PC 盖

最大直径 150mm & 100x100mm 板

标准干式真空泵：100 升/分(fēn)钟，0.5 ATM

标准样品夹头

尺寸 350W x 450D x 275H mm

220VAC，60Hz，3安培

重量：20公斤

JS301-200 旋涂机

JS301-200 台式系列小(xiǎo)型基材旋涂机专為(wèi)各种研发过程中的多(duō)功能(néng)性、易用(yòng)性和安全性而设计。 该旋涂机非常适合硅晶片、玻璃、大型光掩模、掩模版的涂层和显影等工艺。 ● 坚固的结构

● 易于使用(yòng)

● 可(kě)重复的性能(néng)

● 灵活性

● 经济的台式系统

规格

可(kě)编程 3 步，3 种速度

数字转速计和计时器

准确度 +- 1 % 在设定的 RPM

最高转速：4,500

加速度：3,000RPM/秒(miǎo)。

SUS304 主體(tǐ)和碗，易于清洁和耐化學(xué)性

排水口

碗的透明 PC 盖最大 200 毫米直径和 150x150 毫米盘子

标准干式真空泵：100 升/分(fēn)钟，0.5 ATM

标准样品夹头

尺寸 500W x 450D x 275H mm

220VAC，60Hz，3安培

重量：30 公斤

旋涂机 JS401

一个用(yòng)户友好的数字程序，提供带有(yǒu)可(kě)选光刻胶、EBR、HMDS 或 BSR 的点胶软件。 JS401 旋涂系统使用(yòng)方便、结构紧凑、坚固耐用(yòng)，是一种台式类型，以具有(yǒu)竞争力的价格提供给需要高性能(néng)的客户。

   落地式也作為(wèi)选项提供，它配备了自动化學(xué)供应装置、HEPA 过滤器、自动排气系统和晶片对准功能(néng)。

程序和硬件戴尔

转速重复性：< 0.05 %

转速分(fēn)辨率：< 0.05%

基板尺寸（<1 cm - 300 mm 圆形 / 220 x 220 方形）

可(kě)靠性

全不锈钢抛光 304 结构

排空位于碗底部的端口

用(yòng)于惰性旋转环境的可(kě)选氮气吹扫

基本自动点胶装置最多(duō)可(kě)扩展至 4 个（PR、EBR、HMDS、BSR 或开发）

1 年保修（零件和人工）

向客户提供无限的应用(yòng)程序

液晶触摸屏

20个工艺程序

每个程序 20 个步骤（可(kě)通过软件选项升级）

步进时间的 0.1 秒(miǎo)分(fēn)辨率

加速度和减速度可(kě)设置為(wèi) 0.1 秒(miǎo)分(fēn)辨率（可(kě)编程斜坡）

旋转速度 0 - 6,000 rpm（10,000 rpm 选项）

旋转速度加速度：

0 - 30,000 rpm/秒(miǎo)卸载

0 - 23,000 rpm/sec，100 mm SI 晶圆

可(kě)编程逻辑控制器 (PLC) 系统控制器

最大限度。晶圆：4" (JS401-100)、6" (JS401-150)、8" (JS401-200)、12" (JS401-300)

可(kě)选手动 PR 分(fēn)配器、EBR 和显影剂

可(kě)选的手动晶圆对准工具

标准同时分(fēn)配能(néng)力扩展到 4 个单位（带压力罐）

   -- 光刻胶、EBR、HMDS、BSR 或显影

安全性：真空吸盘联锁

可(kě)选地板类型：HEPA 过滤器、排气自动阻尼器和晶圆装载对齐

带有(yǒu)摆动喷嘴的可(kě)选自动点胶装置

JS401-150 旋涂机

JS401-150 台式系列小(xiǎo)型基材旋涂机专為(wèi)各种手动和自动研发过程中的多(duō)功能(néng)性、易用(yòng)性和安全性而设计。 旋涂机非常适合硅晶片、玻璃、大型光掩模、掩模版的涂层和显影等工艺。

● 精确的温度控制

● 易于使用(yòng)

● 可(kě)重复的性能(néng)

● 灵活性

● 经济的台式系统中的可(kě)编程性。

规格

可(kě)编程 20 个步骤，存储 20 个配方

PLC和触摸屏操作

准确度 +- 1 RPM

最高转速：6,000

加速度：3,000RPM/秒(miǎo)。

加速和减速可(kě)设置為(wèi) 0.1 秒(miǎo)。

SUS304 主體(tǐ)和碗，易于清洁和耐化學(xué)性

排水口

碗的透明 PC 盖

最大150mm直径板

标准干式真空泵：100 升/分(fēn)钟，0.5 ATM

标准样品夹头

尺寸 370W x 370D x 375H 毫米

220VAC，60Hz，5安培

重量：25 公斤

JS401-200 旋涂机

JS401-200 台式系列小(xiǎo)型基材旋涂机专為(wèi)各种手动和自动研发过程中的多(duō)功能(néng)性、易用(yòng)性和安全性而设计。 旋涂机非常适合硅晶片、玻璃、大型光掩模、掩模版的涂层和显影等工艺。

● 易于清理(lǐ)碗

● 易于使用(yòng)

● 可(kě)重复的性能(néng)

● 灵活性

● 经济的台式系统中的可(kě)编程性。

规格

可(kě)编程 20 个步骤，存储 20 个配方

PLC和触摸屏操作

准确度 +- 1 RPM

最高转速：4,500

加速和减速可(kě)设置為(wèi) 0.1 秒(miǎo)。

加速度：3,000RPM/秒(miǎo)。

SUS304本體(tǐ)和碗

易于清洁和耐化學(xué)性

排水口

碗的透明 PC 盖

最大200mm直径板

标准干式真空泵：100 升/分(fēn)钟，0.5 ATM

标准样品夹头

尺寸 500W x 500D x 375H 毫米

220VAC，60Hz，5安培

重量：25 公斤

JS401-300 旋涂机，落地式

JS401-300 的 12 英寸晶圆旋涂机专為(wèi)各种手动和自动研发过程中的多(duō)功能(néng)性、易用(yòng)性和安全性而设计。旋涂机非常适合硅晶片、玻璃、大型光掩模、掩模版的涂层和显影等工艺。

● 结合 PR 涂层用(yòng)点胶喷嘴

● 易于使用(yòng)

● 可(kě)重复的性能(néng)

● 编程的灵活性

● 可(kě)选自动摆臂点胶系统

● 晶圆对齐工具

规格

可(kě)编程 20 个步骤，存储 20 个配方

PLC和LCD触摸屏显示

准确度 +- 1 RPM

最高转速：4,000

加速度：10,000RPM/秒(miǎo)。

加减速度可(kě)设定 0.1 秒(miǎo)。

SUS304 主體(tǐ)和碗，易于清洁和耐化學(xué)性

附有(yǒu)手动晶圆对准工具

排水口

用(yòng)于观察的透明玻璃门

最大300mm直径晶圆

标准干式真空泵：100 升/分(fēn)钟，0.5 ATM

标准样品夹头

尺寸 1000W x 800D x 1800H mm

220VAC，60Hz，15安培

重量：225 公斤规格

旋涂机 JS501

JS501-400 的用(yòng)户友好型数字可(kě)编程模型為(wèi)客户提供了关键实验和生产的准确性和可(kě)靠性。 JS501-400 旋涂系统是一种方便、紧凑、坚固的台式类型，以具有(yǒu)竞争力的价格提供给需要高性能(néng)的客户。

转速重复性：< 0.05 %

转速分(fēn)辨率：< 0.05%

基板尺寸（最大 370x470、500x500 平方毫米）

制造用(yòng)于 OLED 沉积的 FMM（精细金属掩模）的旋涂机（250x 970mm）

可(kě)靠性

全不锈钢 304 结构

排空位于碗底部的端口

用(yòng)于惰性旋转环境的可(kě)选氮气吹扫

基本自动点胶装置最多(duō)可(kě)扩展4台

1 年保修（零件和人工）

向客户提供无限的应用(yòng)程序

程序和硬件

液晶触摸屏

20 个处理(lǐ)程序，每个程序 20 个步骤（可(kě)通过软件选项升级）

步进时间的 0.1 秒(miǎo)分(fēn)辨率

加减速可(kě)设定0.1秒(miǎo)分(fēn)辨率（可(kě)编程斜坡）

旋转速度 0 - 3,000 rpm（w/370x470 mm，1T 基板）

旋转速度加速度：

0 - 10,000 转/秒(miǎo)卸载

0 - 2,500 rpm/秒(miǎo)，500x500 mm，1T 玻璃

可(kě)选的 GYRSET

可(kě)编程逻辑控制器 (PLC) 系统控制器

最多(duō) 4 个单元的可(kě)选同时分(fēn)配能(néng)力：PR、EBR 等。

摆臂式分(fēn)配器

真空吸盘上下升降

安全性：真空吸盘联锁

标准同时分(fēn)配能(néng)力扩展到 4 个单位（带压力罐）

JAESUNG JS501 旋涂系统

JS501-400 旋涂机

JS501-400大型基材旋涂机设计

在各种手动和自动研发过程中实现多(duō)功能(néng)性、易用(yòng)性和安全性。旋涂机非常适合硅晶片、玻璃、大型光掩模、掩模版的涂层和显影等工艺。

● 精确的温度控制

● 结合喷嘴进行大面积涂装

● 喷涂机易于改装

● 可(kě)重复的性能(néng)

● 编程的灵活性

● 自动液體(tǐ)分(fēn)配系统

● 4 种不同的液體(tǐ)控制

规格

可(kě)编程 20 个步骤，存储 20 个配方

PLC和触摸屏操作

准确度 +- 1 RPM

最高转速：3,000

加速度：1,000RPM/秒(miǎo)。

SUS304本體(tǐ)和碗

 易于清洁和耐化學(xué)性

排水口

HEPA过滤器单元

最大 370x470mm，1T 玻璃

标准干式真空泵：100 升/分(fēn)钟，0.5 ATM

标准样品夹头

尺寸 1500W x 1200D x 1650H 毫米

220VAC，60Hz，25安培

重量：225 公斤

JAESUNG JS501-500 旋涂机

JS501-500大型基材旋涂机设计

在各种手动和自动研发过程中实现多(duō)功能(néng)性、易用(yòng)性和安全性。旋涂机非常适合硅晶片、玻璃、大型光掩模、掩模版的涂层和显影等工艺。

● 结合喷嘴进行大面积涂装

● 喷涂机易于改装

● 可(kě)重复的性能(néng)

● 编程的灵活性

● 机械臂自动液體(tǐ)分(fēn)配系统 可(kě)变移动速度和角度

● 4 种不同的液體(tǐ)控制

规格

可(kě)编程 20 个步骤，存储 20 个配方

PLC和触摸屏操作

准确度 +- 1 RPM

最高转速：2,500

加速度：1,000RPM/秒(miǎo)。

SUS304本體(tǐ)和碗

易于清洁和耐化學(xué)性

排水口

HEPA过滤器单元

最大 500x500mm，1T 玻璃

标准干式真空泵：100 升/分(fēn)钟，0.5 ATM

标准样品夹头

尺寸 1700W x 1400D x 1650H mm

220VAC，60Hz，25安培

重量：300 公斤